chemische metallorganische Abscheidung aus der Gasphase
- chemische metallorganische Abscheidung aus der Gasphase
- cheminis garinis metaloorganinio junginio nusodinimas
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. metallo-organic chemical vapor deposition
vok. chemische metallorganische Abscheidung aus der Gasphase, f
rus. химическое осаждение металлоорганического соединения из паровой фазы, n
pranc. dépôt chimique en phase vapeur métallo-organique, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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